设备介绍
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椭圆偏振仪(Ellipsometer)

发布日期:2015-06-21 18:45
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设备简介:
椭圆偏振技术(Ellipsometry)是一种多功能和强大的光学技术,可用以取得薄膜的介电性质(复数折射率或介电常数)。已被应用在许多不同的领域,从基础研究到工业应用,如半导体物理研究、微电子学和生物学。椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术,且具有非破坏性和非接触的优点。此技术基于测量光在反射或穿透样品时,其偏振性质的改变。通常,椭圆偏振多在反射模式下进行。偏振性质的改变主要是由样品的性质,如厚度、复折射率或介电函数来决定。虽然光学技术受制于先天衍射极限的限制,椭圆偏振却可借由相位信息及光偏振状态的改变,来取得埃等级的分辨率。此技术可适用于厚度小于1 ns到~ μm薄膜。样品必须是由少数几个不连续而有明确界面、光学均匀、等向性且非吸收光的膜层构成。
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